什么是特氣易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的氣體統稱為特氣。(GB 50646-2011)特氣系統工程特氣系統是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。特氣系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。(GB 50646-2011)特氣系統組成特氣系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統GMS)。特氣系統特點特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉，也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統，在監(jiān)控中心統一監(jiān)控管理，其報警系統還可以與安監(jiān)系統、消防系統對接。適合場合芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備。